隔振平臺的結構特點

　　大家都知道的是振動其實是一種能量，它以振動波的形式傳遞的，具有一定的頻率。隔振平臺在運行時也有一個頻段，當這兩個頻段重合時，我們稱之為振動和不穩定性。通常的振動信號頻率進行一般來說都是一個高頻，可在50-100HZ的范圍內，而細微隔振就是我們通過隔振裝置能夠達到衰減、吸收客觀的環境下的振動的能量，降低振動的頻率，能夠將它的頻率降低到10HZ以下，非常好的隔振可以降低到5HZ。

　　隔振平臺的設計目的是將超精密儀器與來自建筑物地板的頻率低于1Hz的振動隔離開來。在理想狀態下這個儀器可以應用到光學電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡（SPM）及計量分析儀器的領域中去。主動的隔振功能的系統，可以很容易地選擇和設置三個增益中的一個，以實現適合當前環境的性能。

　　隔振平臺發展主要問題還是包含了這五個組成一個部分：隔振臺面、減振單元、支撐腿、安全生產裝置、可調設備地腳。核心部件是減振裝置和工作臺。

　　隔振平臺的工作就是臺面按材質進行大體分兩大類：大理石作為臺面和不銹鋼操作臺面。00級工作面一般采用大理石臺面，不銹鋼臺面的水平誤差不大于0.02mm，均以確保設備水平的技術要求為依據。

　　隔振平臺的減振單元設計主要通過使用氣浮減振器（空氣質量彈簧作用減振器）。