型號
02TM222（L）
02TM312（L）
02TM322(L)
調整維數
XY
XYZ
驅動方式
微調螺紋副
測微頭
驅動位置
中心
導軌
V型導軌+交叉滾柱
行程
25mm
刻度
---
0.01mm
精度
0.001mm
直線度
0.002mm（單軸）
擺動誤差
<20″
自重
1.15kg
1.65kg
1.7kg
負載
10kg
5kg