型號(hào)
02TM222（L）
02TM312（L）
02TM322(L)
調(diào)整維數(shù)
XY
XYZ
驅(qū)動(dòng)方式
微調(diào)螺紋副
測(cè)微頭
驅(qū)動(dòng)位置
中心
導(dǎo)軌
V型導(dǎo)軌+交叉滾柱
行程
25mm
刻度
---
0.01mm
精度
0.001mm
直線度
0.002mm（單軸）
擺動(dòng)誤差
<20″
自重
1.15kg
1.65kg
1.7kg
負(fù)載
10kg
5kg