型號
02TM522(L)
調(diào)整維數(shù)
五維
驅(qū)動方式
測微頭、微調(diào)螺紋副
驅(qū)動位置
中心
導(dǎo)軌
線性導(dǎo)軌+滾柱
三維平移行程
13mm
旋轉(zhuǎn)和俯仰范圍
±5°
刻度
0.01mm
精度
0.001mm
直線度
0.003mm（單軸）
擺動誤差
<20″
自重
2.1kg
負(fù)載
25kg