型號(hào)
06FP601（06FP601L）
調(diào)整維數(shù)
六維
驅(qū)動(dòng)方式
測(cè)微頭
平移調(diào)整范圍
TxTyTz粗調(diào)
±6.5mm
TxTyTz微調(diào)
±0.3mm
TxTyTz精度
上下偏擺
20″
左右偏擺
10″
俯仰調(diào)整范圍
Θx調(diào)節(jié)
±5.5º
Θy調(diào)節(jié)
±2.5º
Θz調(diào)節(jié)
ΘxΘyΘz精度